本發(fā)明公開了一種相變溫度測試系統(tǒng),其結(jié)構(gòu)為:加熱爐的蓋板上開有通光孔,加熱爐內(nèi)設(shè)有爐腔,樣品架位于爐腔內(nèi),并位于通光孔的正下方,在通光孔的上方放置有激光器和光電探測器,光電探測器位于待測樣品對激光束的反射光路上。本發(fā)明可以增設(shè)信號放大采集電路、溫度控制傳感電路和數(shù)據(jù)處理器。通過該系統(tǒng)測試靈敏度較高,能測定膜厚低至1nm的薄膜的相變溫度;且可直接測量薄膜樣品的相變溫度,對樣品無損傷;通過不同升溫速率下的變溫測量還可獲得更多的材料熱力學(xué)參數(shù)。操作簡單,成本低廉,測試可靠度較高。
聲明:
“相變溫度測試系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)