本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性測(cè)試方法,具體為微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)應(yīng)力測(cè)試方法。本發(fā)明解決現(xiàn)有技術(shù)尚無(wú)測(cè)試微機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)態(tài)應(yīng)力測(cè)試方法的問(wèn)題。該方法包含激光照射動(dòng)態(tài)樣品、樣品產(chǎn)生拉曼散射、輸出拉曼光譜、分析拉曼光譜的拉曼測(cè)試過(guò)程,將照射激光調(diào)制成與被測(cè)樣品動(dòng)態(tài)振動(dòng)頻率相同的激光脈沖。本發(fā)明首次將拉曼測(cè)試原理用于微機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)態(tài)應(yīng)力的測(cè)試,并通過(guò)對(duì)激光的高頻調(diào)制使拉曼測(cè)試用于微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)應(yīng)力測(cè)試成為現(xiàn)實(shí),從而給出了一種基于拉曼光譜的非接觸式無(wú)損測(cè)試微機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)態(tài)應(yīng)力的方法,添補(bǔ)了微機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)態(tài)應(yīng)力測(cè)試的空白。