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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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晶圓表面損傷層深度測量方法及系統(tǒng)

1012 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:58:32

本發(fā)明實施例公開了一種晶圓表面損傷層深度測量方法及系統(tǒng)；該方法可以包括：在待測晶圓表面所選的測量點處進行減薄加工，形成所述測量點對應的凹面測量區(qū)域；通過擇優(yōu)腐蝕的方式對形成有凹面測量區(qū)域的待測晶圓進行刻蝕，以顯現所述凹面測量區(qū)域中損傷層的缺陷；基于所述刻蝕完成后的凹面測量區(qū)域的幾何參數以及所述刻蝕完成后的凹面測量區(qū)域中無損傷層的幾何參數計算獲得所述凹面測量區(qū)域中的損傷層深度；根據所有測量點對應的凹面測量區(qū)域中的損傷層深度獲取所述待測晶圓的損傷層深度。

聲明：

“晶圓表面損傷層深度測量方法及系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)