本公開涉及了一種X射線管的真空測量裝置、方法以及系統(tǒng)。該X射線管的真空度測量裝置,其特征在于,包括:脈沖電源單元,被設(shè)置為對一待測X射線管的陽極施加正脈沖電壓,產(chǎn)生因所述X射線管內(nèi)殘余氣體中存在的自由帶電粒子與殘余的氣體分子之間的碰撞而發(fā)生電離的電流;測量電路單元,包括一采樣模塊,所述采樣模塊被設(shè)置為連接于所述陰極處,并被配置為測量所述電流的大??;以及處理單元,被配置為將測量到的所述電流的大小與一先驗的離子電流?真空參考曲線對比從而得到所述X射線管的真空度。因此,可以對X射線管實現(xiàn)無損的測量其真空度,且具有較高的準(zhǔn)確度、靈敏度。
聲明:
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