本發(fā)明涉及一種雙二維MEMS微鏡掃描的高靈敏共焦拉曼光譜快速測量方法及裝置,屬于顯微光譜成像技術(shù)領(lǐng)域。該方法利用兩片二維MEMS微鏡實現(xiàn)光束橫向掃描,省去了掃描透鏡和管鏡,并利用二向色分光系統(tǒng)實現(xiàn)反射光和拉曼散射光的無損分離,利用反射光構(gòu)建共焦顯微成像系統(tǒng),實現(xiàn)樣品幾何形貌的快速高空間分辨探測;利用拉曼散射光構(gòu)建共焦拉曼光譜探測系統(tǒng),對于表面比較平整的樣品,可以進(jìn)行單層掃描快速完成樣品表面的拉曼光譜探測;對于表面起伏比較大的樣品,可以進(jìn)行逐點定焦實現(xiàn)拉曼光譜的高空間分辨探測。本發(fā)明具有高靈敏、測量速度快、樣品適應(yīng)性廣(可測量表面起伏較大樣品)、集成度高且結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)勢。
聲明:
“雙二維MEMS微鏡掃描的高靈敏共焦拉曼光譜快速測量方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)