本發(fā)明是一種基于聚焦評(píng)價(jià)算法的結(jié)構(gòu)光微納三維形貌測(cè)量方法，傳統(tǒng)的基于聚焦評(píng)價(jià)函數(shù)的三維測(cè)量方法具有測(cè)量系統(tǒng)簡(jiǎn)單、無損傷等特點(diǎn)，但由于其本質(zhì)是根據(jù)物體本身紋理信息對(duì)聚焦程度進(jìn)行判斷，對(duì)于表面結(jié)構(gòu)光滑、紋理不足的物體難以測(cè)量。本發(fā)明提出了一種結(jié)合結(jié)構(gòu)光照明和聚焦評(píng)價(jià)函數(shù)的三維形貌輪廓術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)光滑和粗糙表面共存的物體測(cè)量。在測(cè)量系統(tǒng)中，將DMD產(chǎn)生的圖案投影到物體表面，縱向掃描物體獲得待處理圖片，對(duì)于一個(gè)像素點(diǎn)而言，在圖像序列中表現(xiàn)為從模糊到清晰再到模糊的過程，其中使用聚焦評(píng)價(jià)算法定位像素點(diǎn)成像最清晰的圖片位置，再結(jié)合曲線擬合算法提取精確聚焦位置，遍歷所有像素點(diǎn)即可獲取物體三維形貌。