本專利公開了一種室溫黑磷太赫茲探測器。器件結(jié)構(gòu)自下而上依次為:第一層是本征硅襯底、第二層是氧化物層、第三層是黑磷以及搭在黑磷上的非對稱的蝴蝶形天線和天線兩側(cè)的金屬電極。器件制備步驟是將機械剝離的黑磷轉(zhuǎn)移到襯底上,運用紫外光刻或者電子束曝光方法結(jié)合傾角蒸鍍工藝制備非對稱的蝴蝶形天線和金屬電極,形成黑磷太赫茲探測器。當(dāng)太赫茲光照射器件時,黑磷內(nèi)載流子在賽貝克電動勢驅(qū)動下單向運動,產(chǎn)生響應(yīng)信號并實現(xiàn)室溫快速的太赫茲的探測。該探測器具有高速、寬頻、高響應(yīng)、高集成度等特點,可以在室溫下對新鮮的樹葉進行無損傷主動成像,為實現(xiàn)室溫太赫茲探測器大規(guī)模應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。
聲明:
“室溫黑磷太赫茲探測器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)