本發(fā)明公開了一種封閉式自體循環(huán)的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng),它包括依次連接的蝕刻線(1)、中轉(zhuǎn)母液罐(2)、母液罐(3)、銅離子無損分離系統(tǒng)(4)、再生子液罐(5)、配液罐(6)、過濾器(7)和子液罐(8),銅離子無損分離系統(tǒng)還連接有一提銅裝置(9),蝕刻線(1)、中轉(zhuǎn)母液罐、母液罐、銅離子無損分離系統(tǒng)(4)、再生子液罐(5)、配液罐(6)、過濾器(7)、子液罐(8)、提銅裝置(9)上均設(shè)置有檢測對應(yīng)部件的
檢測儀,檢測儀與控制器連接,控制器內(nèi)設(shè)置有能將異常信息發(fā)給對應(yīng)負(fù)責(zé)人的短消息模塊。本發(fā)明的有益效果是:它具有藥液回用率高、安全性能高的優(yōu)點,實現(xiàn)了蝕刻液封閉式自體循環(huán)和平行式無損分離。
聲明:
“封閉式自體循環(huán)的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)