本實用新型公開了一種計量級3D超景深共焦顯微系統(tǒng),涉及光電無損3D檢測技術(shù)領(lǐng)域;該顯微系統(tǒng)包括光學(xué)顯微鏡、光譜共焦傳感器、xyz軸電動位移平臺以及控制模塊和PC處理器;xyz軸電動位移平臺包括xy軸平移臺和z軸升降模塊,光學(xué)顯微鏡配置有照明光源和圖像采集單元,控制模塊包括xyz電動控制單元、與光譜共焦傳感器連接的光譜共焦處理器以及電源模塊,圖像采集單元用于采集目標檢測區(qū)域的圖像信息,并將圖像信息傳輸至PC處理器;通過實施本技術(shù)方案,能夠無損觀察樣品,并能夠超大面積對材料表面的微觀狀態(tài)進行拍照、3D真彩色成像及3D精準測量,實現(xiàn)計量級的檢測精度,并保有微觀樣品的細節(jié)與真實顏色,具有很好的應(yīng)用前景。
聲明:
“計量級3D超景深共焦顯微系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)