本發(fā)明適用于過(guò)渡金屬硫族化合物層數(shù)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種過(guò)渡金屬硫族化合物的層數(shù)確定方法，包括以下步驟：選取層數(shù)不同的15個(gè)檢測(cè)區(qū)域；獲取相同光強(qiáng)下與各個(gè)檢測(cè)區(qū)域的白光反射譜；根據(jù)各個(gè)白光反射譜確定每個(gè)檢測(cè)區(qū)域的第一反射峰強(qiáng)度和/或第二反射峰強(qiáng)度；獲取各個(gè)檢測(cè)區(qū)域的層數(shù)；確定所有檢測(cè)區(qū)域的層數(shù)與第一反射峰強(qiáng)度和/或第二反射峰強(qiáng)度的對(duì)應(yīng)關(guān)系；根據(jù)對(duì)應(yīng)關(guān)系以及待檢測(cè)樣品的白光反射譜確定待檢測(cè)樣品的層數(shù)。本發(fā)明提供的過(guò)渡金屬硫族化合物的層數(shù)確定方法，能夠簡(jiǎn)單、快速、可靠且無(wú)損地高通量確定檢測(cè)區(qū)域的層數(shù)。