本實(shí)用新型公開(kāi)了一種現(xiàn)場(chǎng)用便攜式超景深3D顯微系統(tǒng)及其成像方法,涉及光電無(wú)損3D檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域;其包括顯微鏡頭、升降模組、XY平移臺(tái)和殼體,顯微鏡頭上配設(shè)有照明光源,顯微鏡頭和升降模組均位于殼體內(nèi)側(cè),顯微鏡頭通過(guò)連接塊與升降模組連接,升降模組內(nèi)設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)顯微鏡頭沿豎直方向移動(dòng)的步進(jìn)電機(jī),XY平移臺(tái)上設(shè)置有支撐塊,升降模組固定在支撐塊上,以使顯微鏡頭隨著支撐塊沿觀(guān)察平面X方向及Y方向移動(dòng);通過(guò)實(shí)施本技術(shù)方案,可有效解決現(xiàn)有顯微鏡僅限于現(xiàn)場(chǎng)平面觀(guān)察樣品細(xì)微表觀(guān)質(zhì)量,難以全面觀(guān)察微觀(guān)目標(biāo)而作出定量分析的技術(shù)問(wèn)題,可實(shí)現(xiàn)無(wú)損觀(guān)察樣品的同時(shí)現(xiàn)場(chǎng)觀(guān)察大型起伏物體細(xì)微缺陷表現(xiàn)情況,確定樣品缺陷等級(jí),實(shí)用性好。
聲明:
“現(xiàn)場(chǎng)用便攜式超景深3D顯微系統(tǒng)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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