本發(fā)明提供了一種柔性探頭結(jié)構(gòu),該柔性探頭結(jié)構(gòu)包括:上盤單元、基盤單元、中盤單元、第一振源單元和第二振源單元,其中,第一振源單元和第二振源單元呈間隔交錯方式排列,第一振源單元穿入基盤單元中,第二振源單元逐層穿入基盤單元和中盤單元中,中盤單元呈孔軸定心方式套穿入基盤單元上,上盤單元呈孔軸定心方式套穿入中盤單元上。本發(fā)明提供的柔性探頭結(jié)構(gòu)在實際應(yīng)用中,檢測晶體采用正方形輪廓可實現(xiàn)采集點最大化,64位微等距振源體單元矩陣布局又可實現(xiàn)采集面最大化,整體架構(gòu)高度緊湊,突出體現(xiàn)在特別適用于對大曲率表面的一種高效多點位無損檢測。
聲明:
“柔性探頭結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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