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空氣耦合式的電容式微加工超聲換能器、制備方法及用途

773   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:49
一種空氣耦合的電容式微加工超聲換能器、制備方法及用途,包括:換能器陣列中包括16個陣元,每個陣元由多個敏感單元組成,其中單個敏感元件的結(jié)構(gòu)由上到下依次由:上電極1、振膜2、空腔3、以及基底5組成,基底作為下電極使用。所設(shè)計的換能器工作頻率為100kHz?2MHz。換能器陣列基于SOI鍵合工藝制作,振動薄膜材料是單晶硅,上電極為金或鋁,絕緣層4為二氧化硅或氮化硅,通過刻蝕低阻硅基底形成溝槽來分隔換能器的陣元,從而構(gòu)成多陣元的陣列??振钍匠晸Q能器以空氣耦合的方式激發(fā)金屬板或復(fù)合材料板中的超聲波,用于板內(nèi)部缺陷的無損檢測。換能器與相控陣系統(tǒng)配合,對各陣元的脈沖驅(qū)動信號進(jìn)行延時控制,實現(xiàn)聲束的相控偏轉(zhuǎn)、聚焦等調(diào)整,增大檢測自由度。
聲明:
“空氣耦合式的電容式微加工超聲換能器、制備方法及用途” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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