本發(fā)明提供了一種光刻膠形貌的三維重建方法,本發(fā)明通過(guò)無(wú)損測(cè)量方式獲得所述采集區(qū)域的光刻膠線(xiàn)條在第一傾角下的第一二維圖像使得其無(wú)需破壞晶圓進(jìn)行制樣,消除了樣品的成本,還使得其不會(huì)出現(xiàn)由于切片造成的光刻膠圖形出現(xiàn)移位、拉伸、改變?cè)拘蚊驳葐?wèn)題,從而提高了測(cè)量精度,同時(shí),在獲取第一二維圖像和第二二維圖像時(shí),均通過(guò)機(jī)器自動(dòng)完成,無(wú)需通過(guò)人工操作,因此不存在人員測(cè)量差異,還降低了人工的成本。并通過(guò)本發(fā)明的方法使得重建的所述采集區(qū)域的光刻膠線(xiàn)條的三維圖像的過(guò)程通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn),其也是機(jī)器自動(dòng)完成,無(wú)需通過(guò)人工操作,大幅度縮短檢測(cè)周期,加快了工藝研發(fā)進(jìn)度。
聲明:
“光刻膠形貌的三維重建方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)