本發(fā)明涉及一種表征薄膜殘余應(yīng)力的方法,包括:采用薄膜/襯底結(jié)構(gòu)的樣片,控制激光器發(fā)射出一定頻率和能量的短脈沖激光束,在樣片表面匯聚成線性激光束,樣片表面產(chǎn)生超聲表面波;壓電傳感器探測,并采集離散時域電壓信號;得到實(shí)驗(yàn)頻散曲線;建模并得到無殘余應(yīng)力狀態(tài)下的薄膜/基底模型理論頻散曲線;將實(shí)驗(yàn)頻散曲線與理論頻散曲線進(jìn)行比較,定性確定樣片薄膜殘余應(yīng)力的大小排列。本發(fā)明可以快速、無損檢測薄膜殘余應(yīng)力。
聲明:
“表征薄膜殘余應(yīng)力的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)