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基于微透鏡的三維超分辨率干涉儀

932 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:58:51

本發(fā)明涉及一種基于微透鏡的三維超分辨率干涉儀，包括干涉儀和微透鏡。在干涉儀的物鏡與樣品間加入微透鏡。在工作時將光學顯微鏡的工作平面聚焦到微透鏡的像平面上，調節(jié)兩個物鏡的位置從而在微透鏡區(qū)域產生干涉條紋，沿光軸掃描參考反射鏡，并用相機記錄下在掃描過程中所產生的包含干涉條紋的圖像并發(fā)送至計算機保存、處理構建三維超分辨率圖像。由于本發(fā)明在成像時對環(huán)境無特殊要求，無需對樣品進行復雜的處理、標記，并且可以實現(xiàn)快速、非侵入、無損的三維超分辨率成像，因此在納米成像領域具有重要的潛在應用，如集成電路(IC)的制造與檢測。

聲明：

“基于微透鏡的三維超分辨率干涉儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)