一種用于醫(yī)療設備及其它換能器的壓電厚膜
復合材料。超聲波技術在醫(yī)療診斷、工業(yè)無損檢測及水聽器方面的廣泛應用和發(fā)展對換能器材料性能提出了更高的要求。目的是提供一種兼顧體材料和薄膜材料優(yōu)點的壓電厚膜材料,比其薄膜具有更大的驅動力,更明顯的壓電效應,且具有工作電壓低、使用頻率范圍寬、與半導體集成電路兼容等優(yōu)點。按原料比例(摩爾比)準備Pb3O41.9mol,ZrO22.4mol,TiO22.4mol,MnO20.12mol,Sb2O30.12mol,ZnO0.28mol,Nb2O50.28,SrCO30.3mol。制作方法為取上述原料和少量無機粘結劑加到有機載體中,經(jīng)攪拌,粉末均勻地分散到溶液中,形成漿料。在已鍍下電極的基板上刷上述漿料,再經(jīng)干燥、燒結形成厚膜,鍍上電極,經(jīng)極化制成壓電厚膜材料。不限上述一個實施例。主要用于醫(yī)療設備及其它換能器等。
聲明:
“PMS-PZN-PZT壓電厚膜復合材料” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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