本發(fā)明屬于硬脆材料的超精密加工技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種藍(lán)寶石襯底的高效混合磨料化學(xué)機(jī)械拋光液。該高效混合磨料化學(xué)機(jī)械拋光液包括混合磨料、表面活性劑、螯合劑、pH調(diào)節(jié)劑和去離子水?;瘜W(xué)機(jī)械拋光后,在105×141μm
2的較大檢測范圍下,藍(lán)寶石襯底的表面粗糙度Ra為0.530nm,材料去除速率為6.78μm/h。實(shí)現(xiàn)了藍(lán)寶石襯底的超高材料去除速率和無損傷的亞納米級表面粗糙度的化學(xué)機(jī)械拋光。
聲明:
“藍(lán)寶石襯底的高效混合磨料化學(xué)機(jī)械拋光液” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)