在嵌入式的光電二極管的受光面的端部隔著輸送柵電極(12)形成浮動擴散區(qū)域(13)。在大致扇形形狀的受光面中,設(shè)置以浮動擴散區(qū)域(13)為中心的具有放射狀的延伸部的第一區(qū)域(111)和其外側(cè)的第二區(qū)域(112),導(dǎo)入導(dǎo)電型與第一區(qū)域(111)所收集的信號電荷相同的雜質(zhì),由此能夠通過三維電場效應(yīng)形成使信號電荷從放射狀的延伸部朝向中心的電場。其結(jié)果是,能夠縮短電荷的輸送時間。另外,能夠與浮動擴散區(qū)域(13)相鄰地設(shè)置下一級電路元件,因此能夠減小浮動擴散區(qū)域(13)的寄生電容,能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度的元件。由此,在與以100萬幀/秒左右以上的極高速度進行攝影相對應(yīng)的固體攝像元件中,能夠無損于攝影的高速性地提高檢測靈敏度、信噪比。
聲明:
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