本實用新型涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,公開了電力半導(dǎo)體生產(chǎn)用浸沒式光刻機(jī),包括操作臺,所述操作臺的上端左側(cè)固定安裝有機(jī)架,所述機(jī)架上固定安裝與檢測頭,所述機(jī)架的下側(cè)設(shè)有移動臺,所述操作臺的上端右側(cè)固定安裝有清洗箱。本實用新型將
芯片置于鏤空清洗籃內(nèi),然后啟動超聲波發(fā)生器對芯片進(jìn)行清理,然后啟動伺服電機(jī)帶動鏤空清洗籃上升,然后啟動暖風(fēng)機(jī),從而對芯片進(jìn)行干燥,由于超聲波對芯片表面無損傷,對深孔、細(xì)縫和芯片隱蔽處亦可清洗干凈,清理效果好,提高芯片的合格率,較為實用,適合廣泛推廣和使用。
聲明:
“電力半導(dǎo)體生產(chǎn)用浸沒式光刻機(jī)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)