本發(fā)明涉及光學(xué)成像系統(tǒng)、方法、裝置及存儲介質(zhì),該光學(xué)成像系統(tǒng)包括:聚合物彈性探針陣列、光學(xué)透鏡、攝像裝置和處理裝置;通過控制裝置控制聚合物彈性探針陣列以恒定高度接觸式掃描待測樣品表面;光學(xué)透鏡接收聚合物彈性探針陣列在掃描待測樣品表面時(shí)因壓縮形變而反射的光強(qiáng)信號,呈現(xiàn)光強(qiáng)信號對應(yīng)的物像;攝像裝置采集物像所對應(yīng)的光強(qiáng)圖像控制裝置;控制裝置對光強(qiáng)圖像進(jìn)行處理,獲得待測樣品的表面形貌圖像。上述技術(shù)方案解決了傳統(tǒng)光學(xué)成像鏡分辨率低,原子力顯微鏡掃描表征效率低的技術(shù)問題,提高待測樣品表面形貌圖像的分辨率和表征效率,且聚合物彈性探針陣列具有制備成本低、對樣品表面無損傷、可大面積制備陣列和可反復(fù)使用的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“光學(xué)成像系統(tǒng)、方法、裝置及存儲介質(zhì)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)