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太陽能電池用光致化學沉積裝置

719 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:59:24

一種太陽能電池用光致化學沉積裝置，包括補液系統(tǒng)、沉積系統(tǒng)，所述補液系統(tǒng)包括放置反應溶液的補液腔體，所述補液腔體內的底部安裝有第一加熱裝置，其上部安裝有第一在線溫度監(jiān)測裝置，所述補液腔體上設有將液體輸送至沉積系統(tǒng)的液體輸出管道，其內在液體輸出管道的上方設有過濾裝置，所述液體輸出管道上安裝有液體流量計；所述沉積系統(tǒng)包括沉積反應腔體，所述沉積反應腔體的底部安裝有第二加熱裝置、鼓泡裝置、時間控制器以及循環(huán)裝置，所述沉積反應腔體內安裝有將硅片固定在沉積反應腔體內的真空吸附裝置，其上方安裝有第二在線溫度監(jiān)測裝置及光照系統(tǒng)。本發(fā)明的有益效果：可用于低成本，無損傷二氧化硅薄膜的沉積。

聲明：

“太陽能電池用光致化學沉積裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)