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半導(dǎo)體晶圓載流子表面復(fù)合速率的定量成像表征方法

1058   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:26
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體晶圓載流子表面復(fù)合速率的定量成像表征方法,運用三通道函數(shù)發(fā)生器,其中的兩個通道分別產(chǎn)生兩個頻率為f1和f2的正弦信號,共同驅(qū)動一個激光器使其發(fā)出調(diào)制激光束用來激勵待測半導(dǎo)體晶圓,并在其中產(chǎn)生非平衡載流子;載流子輻射復(fù)合所發(fā)出的動態(tài)熒光信號的圖像由CCD采樣拍攝;函數(shù)發(fā)生器的第三個通道產(chǎn)生一個頻率為|f1?f2|的正弦信號作為參考信號,對CCD每個像素點在幀序列中形成的離散時域信號作數(shù)字鎖相運算,將頻率為|f1?f2|的信號分量的幅度提取出來;通過分析不同頻率下的幅度圖像可以得到該晶圓的載流子表面復(fù)合速率定量圖像,可為半導(dǎo)體生產(chǎn)線提供一種非接觸、無損、定量、快速的晶圓表面電學(xué)質(zhì)量評估與成像表征的方法。
聲明:
“半導(dǎo)體晶圓載流子表面復(fù)合速率的定量成像表征方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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