本發(fā)明提供了一種電性失效分析的測(cè)試方法，包括：提供電性失效分析中各測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試項(xiàng)函數(shù)；根據(jù)電性失效分析的測(cè)試需求，確定電性失效分析的測(cè)試項(xiàng)，基于測(cè)試項(xiàng)形成測(cè)試項(xiàng)關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，測(cè)試項(xiàng)關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)與對(duì)應(yīng)的測(cè)試項(xiàng)函數(shù)關(guān)聯(lián)；提供對(duì)應(yīng)測(cè)試需求的測(cè)試文件，測(cè)試文件包括關(guān)聯(lián)于測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試項(xiàng)關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)及對(duì)應(yīng)的測(cè)試參數(shù)；運(yùn)行測(cè)試文件，獲取測(cè)試結(jié)果；根據(jù)測(cè)試結(jié)果和測(cè)試需求，在需修改測(cè)試文件時(shí)，調(diào)整所述測(cè)試參數(shù)。本發(fā)明還提供了一種電性失效分析的測(cè)試裝置。本發(fā)明提供的技術(shù)方案無需了解測(cè)試程序即可修改測(cè)試參數(shù)并且無需反復(fù)加載和編譯測(cè)試程序即可靈活改變測(cè)試流。