本申請(qǐng)實(shí)施例公開(kāi)了一種透射電鏡試樣及其制備方法、待測(cè)結(jié)構(gòu)的失效分析方法，其中，所述透射電鏡試樣的制備方法包括：在待測(cè)結(jié)構(gòu)中確定測(cè)試區(qū)域；在測(cè)試區(qū)域中確定待分析結(jié)構(gòu)和待去除結(jié)構(gòu)，所述待分析結(jié)構(gòu)沿第一方向的兩端分別與所述測(cè)試區(qū)域的邊緣具有第一預(yù)設(shè)距離，所述待去除結(jié)構(gòu)位于所述待分析結(jié)構(gòu)沿第二方向的投影區(qū)域內(nèi)，所述待分析結(jié)構(gòu)朝向所述第二方向的側(cè)面與所述待去除結(jié)構(gòu)接觸，所述第一方向與所述第二方向之間的夾角大于0°且小于180°；去除所述待去除結(jié)構(gòu)，并保留在第一方向上位于所述待去除結(jié)構(gòu)兩側(cè)的至少部分所述測(cè)試區(qū)域作為支撐結(jié)構(gòu)，得到透射電鏡試樣，其中，所述支撐結(jié)構(gòu)與所述待分析結(jié)構(gòu)形成一體成型的至少一個(gè)U型支架。