本實(shí)用新型提供了一種失效分析顯微鏡，包括：會(huì)聚超透鏡和顯微系統(tǒng)，所述顯微系統(tǒng)包括顯微物鏡；所述會(huì)聚超透鏡位于所述顯微系統(tǒng)外側(cè)，并與所述顯微物鏡位置對(duì)應(yīng)；所述會(huì)聚超透鏡遠(yuǎn)離所述顯微物鏡的一側(cè)用于放置待測(cè)樣品，所述會(huì)聚超透鏡用于對(duì)所述待測(cè)樣品所出射的激發(fā)光線(xiàn)進(jìn)行會(huì)聚，并將會(huì)聚的激發(fā)光線(xiàn)射向所述顯微物鏡。通過(guò)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的失效分析顯微鏡，利用會(huì)聚超透鏡對(duì)待測(cè)樣品所出射的激發(fā)光線(xiàn)進(jìn)行會(huì)聚，可以增大系統(tǒng)數(shù)值孔徑，能夠提高光學(xué)顯微鏡的分辨率，可以用來(lái)檢測(cè)待測(cè)樣品的表面缺陷或破損，實(shí)現(xiàn)失效分析。并且，使用超表面作為會(huì)聚光線(xiàn)的會(huì)聚超透鏡，可以有效地減小整體的尺寸，減輕整體的重量。