本申請公開了一種功率器件的失效分析方法，包括：去除集成有功率器件的晶圓的正面的第一金屬層；通過失效點定位機臺對正面失效區(qū)域進行定位后，對正面失效區(qū)域進行標記，得到正面失效標記；通過失效點定位機臺在背面查找到正面失效標記，對背面失效區(qū)域進行定位，背面失效區(qū)域是正面失效區(qū)域在背面的對應(yīng)區(qū)域；通過失效點定位機臺對背面失效區(qū)域進行標記，得到背面失效標記；根據(jù)背面失效標記對背面失效區(qū)域進行失效分析。本申請實現(xiàn)了對晶圓的背面進行失效分析，提高了失效分析的準確度。