一種樣品失效分析方法,包括:獲取樣品的二次電子圖像;從所述二次電子圖像中選出作為參照的基準(zhǔn)子圖形,以及待分析子圖形;沿同一方向掃描基準(zhǔn)子圖形和待分析子圖形的灰度,獲取基準(zhǔn)子圖形和待分析子圖形的二次電子強(qiáng)度曲線;比較基準(zhǔn)子圖形的二次電子強(qiáng)度曲線和待分析子圖形的二次電子強(qiáng)度曲線,確定待分析子圖形是否存在缺陷。用二次電子強(qiáng)度曲線表征二次電子圖像,即使有微小的缺陷,也可以通過二次電子強(qiáng)度表示出來;而且由于二次電子強(qiáng)度曲線對灰度變化比較敏感,即使金屬互連線以及栓塞由于使用低介電常數(shù)金屬而導(dǎo)致二次電子圖像的分辨率降低,也可以用二次電子強(qiáng)度曲線將二次電子圖像表示出來,二次電子強(qiáng)度曲線不會受分辨率變化的影響。
聲明:
“樣品失效分析方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)