本發(fā)明涉及一種用于Nanoprobe?FIB?TEM失效分析的多用途樣品座,包括:半月形樣品臺(tái)為具有窗口的半圓形硅片,TEM薄片樣品固定在該窗口上;基座包括本體、用于安裝Nanoprobe樣品的第一支柱和用于安裝半月形樣品臺(tái)的第二支柱,第一支柱和第二支柱固定連接在本體上,本體具有第一基座貫通孔和第二基座貫通孔;卡座具有第一卡座貫通孔和第二卡座貫通孔;第一卡座貫通孔與第一基座貫通孔或第二基座貫通孔適配,第二卡座貫通孔與FIB樣品卡座臺(tái)適配。本發(fā)明還提供上述的多用途樣品座的應(yīng)用。根據(jù)本發(fā)明的多用途樣品座,適用于Nanoprobe、FIB、TEM多儀器,免去了在不同儀器里頻繁更換樣品臺(tái)的步驟。
聲明:
“用于Nanoprobe-FIB-TEM失效分析的多用途樣品座及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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