本發(fā)明公開了一種振鏡失效檢測方法及裝置,在待測振鏡振動過程中向待測振鏡投射出光,獲取待測振鏡的反射光形成的圖像;根據(jù)圖像獲得待測振鏡的失效檢測結(jié)果。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明避免了由檢測人員評判振鏡是否失效,受檢測人員的主觀性影響小,并且能夠提高檢測效率。
聲明:
“振鏡失效檢測方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)