本發(fā)明公開一種測定深溝槽失效深度的方法,包括步驟:準(zhǔn)備試樣且獲得失效的深溝槽在樣品中的位置;在聚焦離子束樣品臺轉(zhuǎn)動到預(yù)定角度時,在深溝槽的一側(cè)預(yù)定距離處采用垂直于樣品表面的離子束切割出凹坑;轉(zhuǎn)動聚焦離子束樣品臺,采用與樣品表面傾斜成預(yù)定角度的離子束切割包括失效深溝槽在內(nèi)的樣品,并且采用垂直于樣品表面的電子束觀看失效深溝槽的頂部圖像。本發(fā)明可以節(jié)省對于深溝槽失效深度的分析時間且提高分析的準(zhǔn)確度和成功率。
聲明:
“測定深溝槽失效深度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)