本發(fā)明提供一種檢出電子器件漏電失效點(diǎn)的方法,其特征在于:在漏電失效器件的過電截面上以漸增的方式加載電應(yīng)力載荷,直到利用顯微鏡能夠觀察到該過電截面上出現(xiàn)局部燒蝕區(qū)域或局部燒熔區(qū)域,從而確定該局部燒蝕區(qū)域或局部燒熔區(qū)域即為電子器件漏電失效點(diǎn)。采用該方法無需具備紅外顯微熱成像設(shè)備的實(shí)驗(yàn)條件下,就能夠快速而簡易地找到或確認(rèn)元器件漏電的具體部位,特別適用于通過常規(guī)顯微觀察等方法所不能確定失效點(diǎn)的元器件。
聲明:
“檢出電子器件漏電失效點(diǎn)的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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