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監(jiān)測(cè)真空泵失效的裝置和方法、真空度感測(cè)器

1015   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:33
一種監(jiān)測(cè)真空泵失效的裝置和方法、真空度感測(cè)器,所述真空泵通過管道與目標(biāo)裝置連接,所述監(jiān)測(cè)真空泵失效的裝置包括:真空度感測(cè)器,置于所述管道內(nèi),在所述管道內(nèi)的真空度大于預(yù)定真空度值時(shí),所述真空度感測(cè)器阻擋光透過;激光發(fā)射單元和激光探測(cè)單元,分別置于所述真空度感測(cè)器的兩側(cè),所述激光探測(cè)單元探測(cè)所述激光發(fā)射單元發(fā)射的激光;控制單元,在所述激光探測(cè)單元未探測(cè)到激光時(shí),判定所述真空泵失效。當(dāng)目標(biāo)裝置為傳送腔時(shí),避免由于在傳送腔內(nèi)傳送硅片時(shí),真空泵失效時(shí),傳送腔內(nèi)的真空度不符合要求,從而導(dǎo)致硅片被玷污,造成在后段工藝中形成的金屬互連線斷開或短路的現(xiàn)象。
聲明:
“監(jiān)測(cè)真空泵失效的裝置和方法、真空度感測(cè)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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