本發(fā)明提供一種鏈?zhǔn)酵捉Y(jié)構(gòu)樣品處理方法及失效測(cè)試方法,包括:提供一鏈?zhǔn)酵捉Y(jié)構(gòu)初始樣品,所述鏈?zhǔn)酵捉Y(jié)構(gòu)初始樣品包括第二銅金屬層,鉭層,形成于通孔中且位于所述鉭層上的銅插塞;對(duì)所述鏈?zhǔn)酵捉Y(jié)構(gòu)初始樣品進(jìn)行研磨,直至暴露所述第二銅金屬層;采用濕法刻蝕工藝去除所述第二銅金屬層和所述銅插塞,形成鏈?zhǔn)酵捉Y(jié)構(gòu)測(cè)試樣品。本發(fā)明采用濕法刻蝕工藝去除第二銅金屬層中的銅和銅插塞,留下鉭層,避免了金屬銅的短路現(xiàn)象,又因?yàn)殂g層中含有金屬鉭滿足聚焦離子束顯微鏡的使用要求,從而對(duì)鏈?zhǔn)酵捉Y(jié)構(gòu)失效位置定位。
聲明:
“鏈?zhǔn)酵捉Y(jié)構(gòu)樣品處理方法及失效測(cè)試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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