本發(fā)明公開了一種晶圓團(tuán)簇失效報(bào)警方法,包括:按計(jì)劃執(zhí)行CP測(cè)試;生成b i n坐標(biāo)圖;檢測(cè)失效d i e相鄰d i e是否失效判斷是否發(fā)生晶圓團(tuán)簇失效,若發(fā)生晶圓團(tuán)簇失效則發(fā)出報(bào)警,并則根據(jù)需求在晶圓團(tuán)簇失效區(qū)域周圍的非失效d i e上形成失效標(biāo)記,將具有失效標(biāo)記的非失效d i e定義為失效d i e,否則執(zhí)行后續(xù)計(jì)劃測(cè)試。本發(fā)明能及時(shí)主動(dòng)發(fā)現(xiàn)晶圓團(tuán)簇失效并發(fā)出報(bào)警,通過失效標(biāo)記能降低系統(tǒng)性風(fēng)險(xiǎn),能提高生產(chǎn)效率,避免損失。
聲明:
“晶圓團(tuán)簇失效報(bào)警方法和報(bào)警系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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