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金屬短路失效定位結(jié)構(gòu)和方法

998   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:36
本發(fā)明公開了一種金屬短路失效定位結(jié)構(gòu),包括:第一和第二金屬繞線結(jié)構(gòu);在短路失效檢測(cè)區(qū)域中,第一金屬繞線結(jié)構(gòu)包括多條平行的連接成蛇形結(jié)構(gòu)的第一金屬線段,第二金屬繞線結(jié)構(gòu)包括多條電連接在一起的第三金屬線段,各第三金屬線段和對(duì)應(yīng)第一金屬線段相鄰;第一金屬線段的首尾連接通過(guò)位于更高層的金屬層組成的第二金屬線段實(shí)現(xiàn)。第二金屬線段在電性確認(rèn)過(guò)程中保留以及在失效定位過(guò)程中去除使第一金屬線段之間斷開連接,利用被動(dòng)電壓襯度對(duì)比定位和第二金屬繞線結(jié)構(gòu)短路的第一金屬線段。本發(fā)明還公開了一種金屬短路失效定位方法。本發(fā)明能完全定位到金屬短路的失效位置且能實(shí)現(xiàn)對(duì)nA級(jí)別的金屬短路失效位置進(jìn)行定位。
聲明:
“金屬短路失效定位結(jié)構(gòu)和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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