本發(fā)明實施例提供了一種晶圓失效功能的關(guān)系的確定方法和裝置。該方法包括,根據(jù)對晶圓進行功能測試的晶圓測試結(jié)果,獲取晶圓中的多個失效單元的失效功能和位置;將多個失效單元的失效功能,分別轉(zhuǎn)化為多個第一向量;根據(jù)多個第一向量、以及多個失效單元的位置,確定多個失效單元各自對應(yīng)的第一數(shù)據(jù);根據(jù)多個所述第一數(shù)據(jù),利用聚類算法,獲取第一結(jié)果,所述第一結(jié)果用于指示晶圓失效功能之間的關(guān)系。
聲明:
“晶圓失效功能的關(guān)系的確定方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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