本發(fā)明公開了一種應(yīng)用溝道漏電衡量器件失效的方法,該方法包括步驟:測(cè)試不同偏置電壓下的平均溝道漏電特性劣化率ASR,并多組采樣;對(duì)于相同偏置電壓下的ASR,比較分布求平均值;用冪指數(shù)模型擬合推導(dǎo)出工作電壓下的晶體管溝道漏電劣化壽命。本發(fā)明應(yīng)用溝道漏電衡量器件失效的方法,能對(duì)溝道漏電隨著熱載流子效應(yīng)劣化作有效評(píng)價(jià),進(jìn)一步完善了低功耗器件的可靠性評(píng)價(jià)。
聲明:
“應(yīng)用溝道漏電衡量器件失效的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)