本發(fā)明屬于晶體管可靠性驗(yàn)證技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高可靠晶體管結(jié)構(gòu)分析方法；首先，對(duì)于應(yīng)用于航天型號(hào)的晶體管產(chǎn)品、其結(jié)構(gòu)往往是非常復(fù)雜的，要了解和掌握這種結(jié)構(gòu)復(fù)雜的產(chǎn)品，就必須進(jìn)行結(jié)構(gòu)單元的分解，根據(jù)影響晶體管的固有質(zhì)量和可靠性的程度，給出各結(jié)構(gòu)單元對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)要素；其次，通過(guò)各個(gè)單元已辨識(shí)的結(jié)構(gòu)要素，依據(jù)GJB548B-2005標(biāo)準(zhǔn)，選擇每種結(jié)構(gòu)要素的評(píng)價(jià)試驗(yàn)方法；該方法對(duì)于晶體管使用方而言，該方法可以衡量和比較晶體管的質(zhì)量和可靠性，發(fā)現(xiàn)潛在的失效機(jī)制，避免使用存在隱患的晶體管、避免使用由于晶體管固有可靠性問(wèn)題導(dǎo)致的整機(jī)失效而帶來(lái)的損失；對(duì)于晶體管制造方而言，通過(guò)該方法監(jiān)控其生產(chǎn)工藝，找到引起晶體管潛在失效的工藝。