本發(fā)明涉及一種真空封裝器件內(nèi)部氣氛的檢測方法、氣密容器及檢測設(shè)備。上述真空封裝器件內(nèi)部氣氛的檢測方法通過將真空封裝器件置于氣密容器中,并破壞真空封裝器件的氣密性,使真空封裝器件的內(nèi)部氣氛與氣密容器的內(nèi)部氣氛混合,使真空封裝器件內(nèi)部極少的氣氛混合進足夠多的氣氛中。氣密容器的內(nèi)部氣壓高于真空封裝器件的內(nèi)部氣壓,可以用常規(guī)方法對混合氣氛進行檢測,由于氣密容器的內(nèi)部氣氛已知,檢測出混合氣氛后,即能夠推算出真空封裝器件的內(nèi)部氣氛的成分及其含量。上述檢測方法可以打破現(xiàn)有檢測設(shè)備的局限,實現(xiàn)對真空封裝器件內(nèi)部氣氛的定量測試,可有效支撐真空封裝器件工藝的提升以及DPA、失效分析、機理分析可靠性研究等工作。
聲明:
“真空封裝器件內(nèi)部氣氛的檢測方法、氣密容器及檢測設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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