本發(fā)明公開了一種檢測電遷移峰值電流的測試結(jié)構(gòu),包括左右完全對稱的本身都為上下對稱結(jié)構(gòu)的左右半測試結(jié)構(gòu);左右半測試結(jié)構(gòu)都包括串聯(lián)在一起的n級連接結(jié)構(gòu),各級連接結(jié)構(gòu)由對應(yīng)級的金屬線并聯(lián)而成;各級金屬線的寬度按比例縮小以及數(shù)量按比例增加,各級連接結(jié)構(gòu)中的所有金屬線的寬度和相等;左右半測試結(jié)構(gòu)的第n級連接結(jié)構(gòu)串聯(lián)在一起,第1級連接結(jié)構(gòu)作為應(yīng)力電流或電壓的輸入端。本發(fā)明還公開了一種檢測電遷移峰值電流的測試方法。本發(fā)明能大大減少所需測試鍵的數(shù)量,節(jié)約面積成本;能避免由于測試鍵位置不同引起的工藝差異造成對峰值電流性能的影響;能結(jié)合失效分析快速找出失效位置,進而能優(yōu)化后段金屬互聯(lián)的工藝窗口。
聲明:
“檢測電遷移峰值電流的測試結(jié)構(gòu)和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)