本發(fā)明涉及一種用于檢測用以確定待測半導(dǎo)體器件是好還是失效的測試系統(tǒng)的測試設(shè)備操作錯(cuò)誤的方法。本方法包括周期性地把數(shù)據(jù)輸入到器件的步驟及檢查能否讀出原封不動的數(shù)據(jù),以檢測該測試設(shè)備的操作錯(cuò)誤。
聲明:
“用于檢測半導(dǎo)體器件測試設(shè)備操作錯(cuò)誤的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)