本發(fā)明涉及一種銅連接孔刻蝕不足缺陷在線檢測方法,用于在CMOS器件制備工藝中檢測銅連接孔刻蝕不足缺陷,包括如下步驟:以電子束掃描儀掃描多枚CMOS器件表面區(qū)域,檢測出各暗電壓對比度缺陷區(qū)域,同時通過失效分析分別識別各暗電壓對比度缺陷的類別,建立一暗電壓對比度缺陷類別與缺陷區(qū)域圖像灰度特征的對應(yīng)關(guān)系;以電子束掃描儀掃描待檢測CMOS器件一表面區(qū)域,確定有無暗電壓對比度缺陷區(qū)域,若有,則提取該缺陷區(qū)域圖像灰度特征;根據(jù)對應(yīng)關(guān)系進一步識別該缺陷區(qū)域是否為銅連接孔刻蝕不足缺陷;切換至另一表面區(qū)域繼續(xù)掃描。該方法可快速識別出CMOS器件中可能存在的銅連接孔刻蝕不足缺陷,其識別準確率高、檢測速度快。
聲明:
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