本發(fā)明提供了一種襯底位錯的檢測方法,包括以下步驟:A、利用電學失效分析定位的方法對可能存在位錯的器件進行失效定位;B、利用聚焦離子束,從其正面進行切拋,邊切邊看,定位到失效的存儲單元,對其源漏區(qū)襯底進行排查,發(fā)現(xiàn)位錯缺陷,立即停止切拋;C、在正面拋光結(jié)束后,進行背面的拋光,在確認背面已被低速流離子束拋光干凈后停止切拋,制得透射電鏡樣品;D、在透射電鏡中進行觀察,拍下透射電鏡照片,獲取位錯長度、深度、所在位置等有關(guān)位錯信息。本發(fā)明帶來的有益效果是:通過增加透射電鏡樣品制備的厚度,保留了完整的位錯信息;本發(fā)明方法得到精確的密度、長度、深度等位錯信息;步驟少,速度快,效率非常高。
聲明:
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