本申請實施例提供一種光電薄膜器件的特性檢測方法,在對待測光電薄膜器件進行制樣處理,得到切片樣品的基礎上,配置導電探針,以及與導電探針連接的開爾文探針力顯微鏡。利用開爾文探針力顯微鏡通過導電探針采集切片樣品的參數(shù)分布數(shù)據(jù)信息。利用該特性檢測方法,可得到數(shù)值化的參數(shù)分布數(shù)據(jù)信息,實現(xiàn)更為細微化的檢測,提高檢測的全面性,為后續(xù)待測光電薄膜器件的失效判斷提供數(shù)據(jù)依據(jù)。
聲明:
“光電薄膜器件的特性檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)