本申請公開了一種半導(dǎo)體器件及其檢測方法,半導(dǎo)體器件包括第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)、與第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)鍵合連接的第二半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)、以及鍵合檢測結(jié)構(gòu);其中,鍵合檢測結(jié)構(gòu)包括段片式導(dǎo)電結(jié)構(gòu)以及信息產(chǎn)生裝置,段片式導(dǎo)電結(jié)構(gòu)包括分布于第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的第一段片和分布于第二半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的第二段片,第一段片和第二段片通過鍵合連接的第一導(dǎo)電觸點(diǎn)和第二導(dǎo)電觸點(diǎn)串聯(lián)形成檢測線,檢測線的兩端用于接入預(yù)設(shè)檢測電壓;信息產(chǎn)生裝置包括與不同位置的第一段片和/或第二段片對應(yīng)連接的多個(gè)信息產(chǎn)生單元,各信息產(chǎn)生單元用以在接收到預(yù)設(shè)檢測電壓時(shí)發(fā)出受檢測信息。本申請可以快速定位段片式導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的斷路位置,從而快速定位半導(dǎo)體器件的鍵合失效位置。
聲明:
“半導(dǎo)體器件及其檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)