本發(fā)明涉及一種MEMS器件檢測電路和方法,所述電路包括控制電路、MEMS驅動電路、第一采樣電路和MEMS器件;所述控制電路的輸出端與所述MEMS驅動電路的輸入端連接,所述MEMS驅動電路的輸出端與所述第一采樣電路的輸入端連接,所述第一采樣電路的第一輸出端與所述MEMS器件連接,所述第一采樣電路的第二輸出端與所述控制電路連接;所述第一采樣電路用于在預設時間段內獲取采樣電壓,并將所述采樣電壓傳輸給所述控制電路;所述控制電路用于根據(jù)所述采樣電壓和所述控制電路輸出的驅動電壓,判斷MEMS器件是否失效。用此電路和方法檢測MEMS器件時,無需借助外部測試設備,檢測效率快;且此電路易于集成,成本較低,檢測精度高。
聲明:
“MEMS器件檢測電路和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)