一種柔性fNIRS檢測(cè)器件,包括第一柔性材料層和設(shè)置于第一柔性材料層上的柔性電路,第二柔性材料層包裹于柔性電路上;所述柔性電路上設(shè)有元器件,元器件通過光刻鍵合設(shè)置于柔性電路上;與現(xiàn)有技術(shù)相比,通過采用柔性材質(zhì)的檢測(cè)器件,可以適應(yīng)即使嬰幼兒頭部較小的彎曲半徑,輕、薄使人們?cè)谂宕鲿r(shí)無異物感,較低的彈性模量可以與皮膚共形貼合,最大程度地發(fā)揮光源和探測(cè)器的性能。對(duì)
芯片進(jìn)行減薄,可以使芯片與皮膚貼合時(shí)具有更小的間隙,同時(shí)采用光刻的方法代替?zhèn)鹘y(tǒng)的金絲鍵合,避免了金絲鍵合后在與皮膚的接觸中容易失效的問題。
聲明:
“柔性fNIRS檢測(cè)器件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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