本發(fā)明公開了一種檢測柔性電子器件導(dǎo)電性能的裝置,該裝置包括基座、位移臺、電動機(jī)、探針、彎曲機(jī)構(gòu)、顯微鏡、顯示器、源表和控制器,所述的位移臺包括第一位移臺和第二位移臺,分別設(shè)于所述基座上的左右兩端,所述彎曲機(jī)構(gòu)的左右兩端分別與兩個位移臺相接,且所述的探針設(shè)于每個位移臺上;所述的電動機(jī)包括第一電動機(jī)和第二電動機(jī),設(shè)于所述基座的左右兩側(cè),且分別與所述第一位移臺和第二位移臺相接;所述基座的中部后側(cè)設(shè)有顯微鏡安裝座,所述的顯微鏡設(shè)于所述的顯微鏡安裝座上;所述的探針與所述源表相接,所述源表、顯微鏡、電動機(jī)和顯示器均與所述控制器相接。本發(fā)明可實(shí)時獲取電遷移失效時的判定參數(shù),最終有效實(shí)現(xiàn)電遷移失效的預(yù)判和控制。
聲明:
“檢測柔性電子器件導(dǎo)電性能的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)