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用于測試半導體器件的測試針卡以及測試設備

637 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 09:00:09

本申請公開了一種用于測試半導體器件的測試針卡以及測試設備，涉及電子器件測試技術領域。測試針卡包括：探頭以及保護電路，在所述探頭中的電流位于第一預設范圍內時，所述保護電路的阻值位于第一電阻范圍內，在所述探頭中的電流位于第二預設范圍內時，所述保護電路的阻值位于第二電阻范圍內。保護電路的阻值可以在探頭中的電流位于第一預設范圍內時位于第一電阻范圍內，由于第一電阻范圍中任一值均較小可以保證被測器件測試結果誤差較小，且保護電路的阻值還可以在探頭中的電流位于第二預設范圍內時位于第二電阻范圍內，由于第二電阻范圍中任一值均較大可以防止被測器件擊穿瞬間電流過大而造成針卡燒針，有利于后續(xù)失效分析。

聲明：

“用于測試半導體器件的測試針卡以及測試設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)